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半導(dǎo)體設(shè)備中旋轉(zhuǎn)接頭的工作原理
文章作者：作者:未知
時(shí)間:2018-05-25 10:06:57
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半導(dǎo)體設(shè)備中的旋轉(zhuǎn)接頭包括接頭座、設(shè)置在接頭座上的定子、和定子套裝連接的轉(zhuǎn)子、和轉(zhuǎn)子套裝連接的密封圈、和轉(zhuǎn)子固定連接的陶瓷基盤(pán)以及陶瓷吸盤(pán)，旋轉(zhuǎn)接頭轉(zhuǎn)子和定子之間設(shè)置有用以使轉(zhuǎn)子平穩(wěn)運(yùn)行的軸承，用鎖母固定從而保證兩者之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)和在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中水、真空、氣的輸送，接頭座上設(shè)置有旋轉(zhuǎn)接頭，上面裝上快換接頭，它是通道的入口，密封圈具有優(yōu)良的密封性能，可以保證在旋轉(zhuǎn)接頭旋轉(zhuǎn)過(guò)程中，真空、 水、氣體幾種介質(zhì)不發(fā)生泄漏。
